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半導(dǎo)體器件和電路制造技術(shù)飛速發(fā)展,器件特征尺寸不斷下降,而集成度不斷上升。這兩方面的變化都給失效缺陷定位和失效機(jī)理的分析帶來(lái)巨大的挑戰(zhàn)。對(duì)于半導(dǎo)體失效分析(FA)而言,微光顯微鏡(Emission Microscope, EMMI)是一種相當(dāng)有用且效率極高的分析工具。微光顯微鏡其高靈敏度的偵測(cè)能力,可偵測(cè)到半導(dǎo)體組件中電子-電洞對(duì)再結(jié)合時(shí)所發(fā)射出來(lái)的光線(xiàn),能偵測(cè)到的波長(zhǎng)約在350nm ~ 1100nm 左右。 它可以廣泛的應(yīng)用于偵測(cè)IC 中各種組件缺陷所產(chǎn)生的漏電流,如: Gate oxide defects / Leakage、Latch up、ESD failure、junction Leakage等。EMMI的工作原理圖如下:
測(cè)試單位:北京卓立漢光儀器有限公司(Zolix Instrument Co., LTD) 測(cè)試對(duì)象:聚光多結(jié)太陽(yáng)能電池 實(shí)驗(yàn)?zāi)康模憾嘟Y(jié)太陽(yáng)能電池的QE及IV特性測(cè)試
測(cè)試單位:北京卓立漢光儀器有限公司(Zolix Instrument Co.,LTD) 測(cè)試對(duì)象:光電化學(xué)電池(PEC) 實(shí)驗(yàn)?zāi)康模汗怆娀瘜W(xué)電池的IPCE
石墨烯是sp2碳原子緊密堆積形成的六邊形蜂窩狀結(jié)構(gòu)二維原子晶體,具有高電導(dǎo)率和熱導(dǎo)率、高載流子遷移率、自由的電子移動(dòng)空間、高強(qiáng)度和剛度等優(yōu)勢(shì),將在微納電子器件、光電檢測(cè)與轉(zhuǎn)換材料、結(jié)構(gòu)和功能增強(qiáng)復(fù)合材料及儲(chǔ)能等廣闊的領(lǐng)域得到應(yīng)用;在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)、光伏產(chǎn)業(yè)、鋰離子電池、航天、軍工、新一代顯示器等傳統(tǒng)領(lǐng)域和新興領(lǐng)域都將帶來(lái)革命性的技術(shù)進(jìn)步,一旦量產(chǎn)必將成為下一個(gè)萬(wàn)億級(jí)的產(chǎn)業(yè)。 然而,石墨烯物理性質(zhì)研究和器件應(yīng)用的快速發(fā)展對(duì)材料的制備和表征提出了新的要求,自從石墨烯發(fā)現(xiàn)以來(lái),各種表征方法被廣泛地用于石墨烯材料的研究。拉曼光譜是一種快速無(wú)損的表征材料晶體結(jié)構(gòu)、電子能帶結(jié)構(gòu)、聲子能量色散和電子-聲子耦合的重要的技術(shù)手段,具有較高的分辨率,是富勒烯、碳納米管、金剛石研究中受歡迎的表征技術(shù)之一,在碳材料的發(fā)展歷程中起到了至關(guān)重要的作用。利用拉曼分析我們可以判斷石墨烯層數(shù)、堆落方式、權(quán)限、邊緣結(jié)構(gòu)、張力和摻雜狀態(tài)等結(jié)構(gòu)和性質(zhì)。
上轉(zhuǎn)換熒光材料是一類(lèi)在長(zhǎng)波長(zhǎng)光激發(fā)下能產(chǎn)生短波長(zhǎng)光的發(fā)光材料,基于這個(gè)特點(diǎn),上轉(zhuǎn)換發(fā)光材料在生物熒光標(biāo)記、太陽(yáng)能電池、紅外光電探測(cè)、激光及顯示等眾多領(lǐng)域具有巨大的應(yīng)用前景。稀土摻雜的上轉(zhuǎn)換發(fā)光納米材料的激發(fā)光為紅外光,且生物組織的光透過(guò)窗口處于紅外波段,這意味著能夠有實(shí)現(xiàn)熒光探針體內(nèi)發(fā)光。另外稀土摻雜的上轉(zhuǎn)換發(fā)光納米材料還具有發(fā)光靈敏性高,光穩(wěn)定性好,化學(xué)性質(zhì)穩(wěn)定,生物毒性低等優(yōu)點(diǎn)。因此,稀土摻雜的上轉(zhuǎn)換發(fā)光納米材料有望成為理想的具有應(yīng)用前景的生物熒光探針。