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在半導(dǎo)體制造過程中,前期的全自動(dòng)晶圓缺陷檢測技術(shù)非常重要。因?yàn)樵诤蠖说纳a(chǎn)流程中,通常會(huì)有多片晶圓粘合到一起,或者把晶圓粘合到不透明的材料上。因?yàn)榘雽?dǎo)體材料對(duì)可見光都是不透明的,所以很難用可見圖像技術(shù)對(duì)粘合效果做表征或者檢測粘合表面的污染。近紅外檢測技術(shù)是在半導(dǎo)體工業(yè)的質(zhì)量監(jiān)控一項(xiàng)有前途的新技術(shù)。本文重點(diǎn)介紹近紅外成像檢測技術(shù)在MEMS工業(yè)生產(chǎn)中發(fā)揮的重要性!
從上世紀(jì)90年代初開始,世界范圍內(nèi)掀起了研究高亮度LED的熱潮,以它為基礎(chǔ)的固體照明正在迅猛發(fā)展。因?yàn)楦吡炼萀ED采用雙異質(zhì)結(jié)構(gòu),要求材料具有良好的晶格匹配,這個(gè)要求對(duì)用于異質(zhì)結(jié)LED的材料體系提出了嚴(yán)格的限制。 Ⅲ-Ⅴ族氮化物半導(dǎo)體材料,擁有優(yōu)良的光電性質(zhì),化學(xué)性質(zhì)非常穩(wěn)定,可在?高溫、酸堿、輻射環(huán)境下使?用,并且禁帶寬度大,因此在大功率的電子器件方面頗具吸引力,已引起了國內(nèi)外眾多研究者的興趣。人們感興趣的Ⅲ-Ⅴ族氮化物是AIN、GaN、InN及其合金,通過控制它們各自的組份,其禁帶寬度可從InN的0.7eV到GaN的3.4eV直到AlN的6.2eV連續(xù)變化,覆蓋了整個(gè)可見光區(qū),并擴(kuò)展到紫外范圍,適合制備高亮度LED。
氧化亞銅為一價(jià)銅的氧化物,是鮮紅色粉末狀固體,幾乎不溶于水,在酸性溶液中化為二價(jià)銅。它是一種重要的P型半導(dǎo)體材料,禁帶寬度僅為2.1eV,光電轉(zhuǎn)換效率可達(dá)到18%。1998年氧化亞銅被發(fā)現(xiàn)可作為催化劑在陽光下將水分解成氫氣和氧氣,證明是一種極具前景的光催化氧化材料?,F(xiàn)今,隨著納米材料的發(fā)展,不僅已經(jīng)制備各種尺寸及形貌的氧化亞銅微納米結(jié)構(gòu),還提出了多種形貌控制理論,如量子點(diǎn)、納米線、納米片、納米球、多面體、空心結(jié)構(gòu)等。納米級(jí)的Cu2O還具有獨(dú)特的光學(xué)和磁學(xué)性質(zhì),在光電轉(zhuǎn)換、工業(yè)催化和氣體傳感器等方面也得到了廣泛的應(yīng)用。
隨著吸煙人口的不斷增長,與香煙有關(guān)的各類物證出現(xiàn)在刑事案件現(xiàn)場的比例逐步提高,進(jìn)行香煙品牌和來源的分析,對(duì)鎖定偵查范圍、有效打擊犯罪變得尤為重要,現(xiàn)階段已經(jīng)對(duì)香煙煙蒂、煙灰、煙絲、香煙盒外包裝薄膜、煙用內(nèi)襯紙等進(jìn)行了多項(xiàng)研究并取得了一定的成果。香煙盒外包裝薄膜即卷煙小盒及條盒外包裹的一層薄膜,全世界有85%以上的煙盒采用透明包裝材料進(jìn)行包裝。因其具有阻隔性、透明性、熱封性、機(jī)械加工性、透氧透濕率小等特性,能有效防止香煙吸潮霉變,阻止煙草香氣外逸,具有良好的阻隔性和保香性。[1]
隨著社會(huì)與經(jīng)濟(jì)的發(fā)展,環(huán)境污染越來越成為困繞著人類健康和制約社會(huì)繼續(xù)發(fā)展的嚴(yán)峻問題,多環(huán)芳烴類污染物,在環(huán)境中具有長期穩(wěn)定性、可遷徙性以及生物富集性,能干擾生物內(nèi)分泌系統(tǒng),損壞生物的神經(jīng)系統(tǒng),潛在的致癌作用[1-3]。表面增強(qiáng)拉曼光譜(Surface enhanced Raman spectroscopy, SERS)作為一種強(qiáng)有力的原位分析技術(shù),不僅可以像拉曼光譜一樣能夠提供分子結(jié)構(gòu)的特征光譜,而且還可以極大地增強(qiáng)被測分子的拉曼信號(hào),通常可以增強(qiáng)6個(gè)數(shù)量級(jí)以上,有時(shí)甚至可以達(dá)到14個(gè)數(shù)量級(jí),從而達(dá)到單分子檢測。文獻(xiàn)研究表明表面增強(qiáng)拉曼光譜完全可以實(shí)現(xiàn)對(duì)特定環(huán)境污染物的高靈敏度定性和定量檢測。過去受限于拉曼光譜儀的發(fā)展,表面增強(qiáng)拉曼光譜基本上只能作為一種實(shí)驗(yàn)室技術(shù)。隨著激光器技術(shù)、光纖技術(shù)以及CCD檢測技術(shù)的發(fā)展,拉曼光譜儀可以集成為一個(gè)小型、快速、簡便的檢測設(shè)備,進(jìn)而使拉曼光譜儀應(yīng)用于多環(huán)芳烴快速分析領(lǐng)域成為可能[4-11]。