滑臺在3C和半導(dǎo)體領(lǐng)域應(yīng)用分享
隨著科技的不斷發(fā)展，工業(yè)領(lǐng)域?qū)τ诟呔堋⒅悄芑妥詣踊男枨笠苍絹碓礁?。在實現(xiàn)輕載自動化應(yīng)用中，高精密手動滑臺、微米級別電動滑臺和納米級別滑臺，以其輕盈便捷、高精密特點成為了工業(yè)智能化的不可或缺的一部分，同時也解決了一部分人員成本等諸多不穩(wěn)定因素，已被廣泛應(yīng)用于工業(yè)自動化領(lǐng)域，可實現(xiàn)真空、污染、無菌、輻射等環(huán)境下的位移控制的實際應(yīng)用需求。
在3C領(lǐng)域，滑臺產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于手機、電腦、相機等產(chǎn)品的制造過程中。例如，手機殼體的加工、屏幕貼合、攝像頭安裝等環(huán)節(jié)都需要滑臺產(chǎn)品的精確控制?；_產(chǎn)品能夠?qū)崿F(xiàn)高精度的定位和高速的傳輸，提高生產(chǎn)效率和質(zhì)量。在半導(dǎo)體制造過程中，滑臺產(chǎn)品主要用于晶圓處理、芯片貼裝、引線焊接等環(huán)節(jié)。這些環(huán)節(jié)對精度的要求非常高，滑臺產(chǎn)品能夠提供高精度的運動控制和高效的數(shù)據(jù)處理能力，確保生產(chǎn)線的穩(wěn)定性和良品率。
卓立漢光可提供多種類手動/電動位移滑臺、納米壓電位移臺等產(chǎn)品，系列豐富，種類齊全，滿足客戶不同種類的需求：
1.1手動檢測：卓立漢光可以提供3-6軸檢測，靈敏度小于2um，推薦產(chǎn)品AAK3-60LAAK4-60LAAK5-60LAAK6-60L；
2.1HXP系列六軸并聯(lián)機器人系統(tǒng)主要用于高精度的六自由度調(diào)整，尤其適合于空間精密對位、微小器件加工和裝配、鏡片檢測、光通信等領(lǐng)域。
2.2納米級別壓電六軸可以實現(xiàn)nm級別調(diào)整，可以用于晶圓檢測，以及nm檢測應(yīng)用。
主要是對主要是做流延膜、拉伸膜、光學(xué)材料、電子材料、航空航天材料等成分分析，卓立漢光壓電掃描臺可以解決此方案。
緊湊型·掃描臺（閉環(huán)）S , SD & SH系列
外形尺?· 55 mm × 55 mm × 18 mm xy行程· 300 um z行程100mm，閉環(huán)定位精度0.4nm，負(fù)載500kg。
物鏡精密定位：納米聚焦系統(tǒng)，主要應(yīng)用于半導(dǎo)體材料檢測，電鏡nm級別調(diào)整。
推薦產(chǎn)品：Carrier.OB
Z方向單一運動方向，行程覆蓋50, 100 & 400um
• 快速運動穩(wěn)定，10ms內(nèi)完成
• 支持高負(fù)載物鏡選項；提供多種物鏡轉(zhuǎn)接接口
• 支持第三方軟、硬件控制，實現(xiàn)自動對焦
• 支持電容(.C) & 電阻(.S ) 位置傳感
• *高分辨率達到0.2 nm
• 支持無磁 (.NM), 超高真空(.UHV)選件升級
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