超高真空光學(xué)顯微鏡/光譜儀測(cè)試系統(tǒng)
Ultra-high Vacuum (UHV) Optical / Spectroscopic Microscope System
將光學(xué)顯微鏡或光譜儀模組對(duì)接于超高真空系統(tǒng)，可以作為超高真空互聯(lián)系統(tǒng)的檢測(cè)節(jié)點(diǎn)之一，用于材料和器件在不同制備環(huán)節(jié)之間對(duì)外延的薄膜或者轉(zhuǎn)移沉積的二維材料等樣品的質(zhì)量進(jìn)行快速無(wú)損檢測(cè)。
產(chǎn)品特性和核心技術(shù)
模塊化設(shè)計(jì)，光學(xué)部分相對(duì)獨(dú)立。
• 包含光學(xué)顯微鏡、激光離焦量傳感器、自動(dòng)調(diào)焦和共聚焦耦合光路等等在內(nèi)的全部光學(xué)部分全部集成于一個(gè)光學(xué)模組之中，作為整體置于超高真空腔體之外，透過(guò)視窗玻璃聚焦于真空腔內(nèi)的樣品表面。
• 不污染真空內(nèi)環(huán)境。
• 超高真空系統(tǒng)烘烤時(shí)可以整體取走，并在烘烤完畢之后方便地定位安裝。
• 可根據(jù)用戶需求，靈活配置激光器、單色儀、探測(cè)器和物鏡等光學(xué)組件。
視窗玻璃厚度像差的補(bǔ)償校正。
• 拉曼光譜的高收集效率和分辨率。
性能參數(shù)：
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顯微鏡模塊
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高分辨鏡頭
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50×，半復(fù)消色差物鏡
空間分辨率 < 2 μm
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長(zhǎng)工作距離鏡頭
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工作距離：~ 120 mm
空間分辨率：~ 5 μm
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拉曼激發(fā)和收集模塊
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激光光源
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波長(zhǎng)：532 nm，功率：50 mW。
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自動(dòng)對(duì)焦
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對(duì)焦精度<0.2微米
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拉曼頻移范圍
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80 ~ 9000 cm-1
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樣品移動(dòng)和掃描平臺(tái)
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步進(jìn)電機(jī)臺(tái)
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整步分辨率 1 μm。
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壓電陶瓷臺(tái)
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最小可移動(dòng)步長(zhǎng) < 10 nm
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光譜儀和探測(cè)器
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光譜儀
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320 mm焦長(zhǎng)單色儀，接面陣探測(cè)器。
分辨率 < 2.0 cm-1。
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軟件
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控制軟件
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可選擇區(qū)域或指定點(diǎn)位自動(dòng)逐點(diǎn)光譜采集或拍照。
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Mapping數(shù)據(jù)分析軟件
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圖像分析：
尺寸測(cè)量
缺陷識(shí)別
光譜分析：
對(duì)光譜峰位、峰高和半高寬等進(jìn)行擬合。
計(jì)算應(yīng)力、晶化率、載流子濃度等信息。
主成分分析（PCA）和k-均值聚類處理模塊。
將擬合結(jié)果以二維圖像方式顯示。
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注：上述表格中的激光波長(zhǎng)、物鏡和單色儀等部件可以根據(jù)客戶需求調(diào)整。
測(cè)試案例：
超高真空共聚焦拉曼光譜測(cè)試
13810146393
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