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Carrier.Lxxxx.XY

中空壓電載物臺

特點:
• 最小步伐尺寸約 20nm
• 最高速度10 mm/s
• 閉環(huán)傳感,空間分辨率1nm /2.44nm /4.88nm/10nm
• 支持無磁(NM) 、高真空(.HV) 和超高真空(.UHV) 選件
• 主體鋁合金(硬質(zhì)氧化發(fā)黑)
 
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產(chǎn)品概述

中空壓電載物臺特點:
• 最小步伐尺寸約 20nm
• 最高速度10 mm/s
• 閉環(huán)傳感,空間分辨率1nm /2.44nm /4.88nm/10nm
• 支持無磁(NM) 、高真空(.HV) 和超高真空(.UHV) 選件
• 主體鋁合金(硬質(zhì)氧化發(fā)黑)
 
命名規(guī)則

中空壓電載物臺
選型表
 

型號

Carrier.L7550.XY

Carrier.L1010.XY

Carrier.R200

外形尺寸(mm)

250×200×30

250×250×40

200×200×24

主體材料

 

鋁合金

 

自重(g)

2333

4000

2000

運動行程(mm)

75×50

100×100

連續(xù)運動

最小安裝尺寸(mm)

325*250*30

350*250*40mm

200*200*24

通孔尺寸(mm)

85*65

120*120

60

最大速度(mm/s)

– 15

– 10

/

最小步伐(nm)

~ 20

~ 20

/

重復(fù)定位精度

驅(qū)動頻率

 

 

Max. 20 kHz

最大負載(kg)

2

4

1

全行程俯仰/偏擺

 

 

/

位置傳感類型

 

 

/

位置傳感量程(mm)

75×50

100×100

300°

位置傳感分辨率

- 光柵尺傳感(.O ),10 nm(默認); 4.88nm, 2.44nm, 1nm 可選

/

推薦使用溫度

 

15-40℃

 

 
尺寸圖