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STS系列拉曼/熒光/光電流原位測(cè)試系統(tǒng)

基于RTS-mini顯微系統(tǒng)而搭建，集成拉曼/熒光/光電流原位測(cè)試功能，配合高精度微米電動(dòng)位移臺(tái)，實(shí)現(xiàn)Raman/PL Mapping及激光誘導(dǎo)光電流成像。深度表征材料內(nèi)部分子振動(dòng)能級(jí)與轉(zhuǎn)動(dòng)能級(jí)結(jié)構(gòu)信息，光生載流子的生成與復(fù)合機(jī)制，器件吸收和電荷生成的微區(qū)特性，光電材料界面及半導(dǎo)體結(jié)區(qū)的品質(zhì)分布等。
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產(chǎn)品概述
基于RTS-mini顯微系統(tǒng)而搭建，集成拉曼/熒光/光電流原位測(cè)試功能。該系統(tǒng)可原位探測(cè)拉曼、熒光及光電流信號(hào)。配合高精度微米電動(dòng)位移臺(tái)，實(shí)現(xiàn)Raman Mapping，PL Mapping以及激光誘導(dǎo)光電流成像（LBIC)。深度表征材料內(nèi)部的分子振動(dòng)能級(jí)與轉(zhuǎn)動(dòng)能級(jí)結(jié)構(gòu)信息，光生載流子的生成與復(fù)合機(jī)制，器件吸收和電荷生成的微區(qū)特性，光電材料界面以及半導(dǎo)體結(jié)區(qū)的品質(zhì)分布等特性。
拉曼/熒光/光電流原位測(cè)試系統(tǒng)技術(shù)參數(shù)
 
拉曼/拉曼Mapping 拉曼頻移范圍 60-6000cm-1 @532nm激光器
共焦方式 光纖共聚焦
高靈敏度 硅三階拉曼峰的信噪比好于20:1，并能觀察到四階峰
空間分辨率 ≤1μm@100X物鏡，NA0.9，532nm單縱模激光器
光譜CCD探測(cè)器
分辨率≥2000x256
量子效率在700nm-870nm區(qū)間處>90%，
光譜范圍：200 ~ 1100 nm
熒光/熒光壽命成像 光譜掃描范圍 200-900nm
最小時(shí)間分辨率 16ps
熒光壽命測(cè)量范圍 500ps-10μs
空間分辨率 ≤1μm@100X物鏡@405nm皮秒脈沖激光器
光電流/光電流成像 激光器（光源）
標(biāo)配532nm激光器，能量穩(wěn)定性1%@4小時(shí)
可選配2路激光器用于光電流測(cè)試
數(shù)據(jù)采集
電流源表：Keithley 2450
測(cè)量范圍：1nA – 1A
暗噪聲：50pA
分辨率：20fA
準(zhǔn)確度： 0.03%
探針臺(tái)
直徑65mm真空吸附卡盤(pán)
探針座和樣品整體二維移動(dòng)，方便樣品位置與光斑位置重合
樣品位置單獨(dú)二維移動(dòng)，方便同類(lèi)樣品更換
樣品位置移動(dòng)行程25mm，分辨率5μm
探針座：XYZ行程12mm，分辨率0.7μm
探針：鎢針，直徑5μm，10μm，20μm可選
測(cè)試功能
光電流掃描（Mapping）：可以設(shè)定固定的電壓，逐點(diǎn)獲取電流值
I-V曲線掃描（Mapping）：可以設(shè)定指定的電壓區(qū)間，逐點(diǎn)獲取I-V曲線