光學(xué)部分設(shè)計概述
定制樣品夾具，帶手動傾斜校正，可在顯微鏡下，通過對焦的清晰度，對樣品盤進(jìn)行手動傾斜校正，讓樣品在整個掃描范圍內(nèi)，處于同一對焦面內(nèi)，保證采用聚焦光斑測試時的穩(wěn)定性。
配備兼容2寸的大范圍高精度自動掃描臺，手動放片后，掃描臺托載晶片實現(xiàn)晶片上多點的自動掃描Mapping功能，步長精度<1μm，X方向運動范圍50mm，Y方向運動范圍50mm，Z方向運動范圍20mm。
顯微鏡可在顯微成像和光電流兩種模式下切換，顯微模式下，物鏡轉(zhuǎn)輪切換到紫外消色差透鏡組，可通過微區(qū)顯微鏡相機(jī)觀察微區(qū)圖像和激光光斑，用戶可以通過顯微像確認(rèn)樣品圖案是否對準(zhǔn)、激光光斑聚焦情況、樣品是否傾斜等。
顯微鏡模組內(nèi)通過激光采樣鏡和標(biāo)準(zhǔn)探測器，對激光能量波動進(jìn)行檢測，用于補(bǔ)償光電流測試的結(jié)果。
可通過物鏡切換轉(zhuǎn)輪，在聚焦和非聚集的兩種情況下測量：聚焦時，光斑通過紫外消色差透鏡組聚焦到0.5mm以下，Mapping小范圍，測量探測器的不均勻性；不聚焦時，物鏡轉(zhuǎn)輪切換到通孔，直接用高斯光束照射樣品，通過光闌控制高斯光束的束寬，根據(jù)輸入的版圖位置測量器件不同區(qū)域的響應(yīng)度。
激光包括193、266和355激光器，激光通過激發(fā)和收集模組、耦合光路模組傳輸?shù)轿镧R前端并聚焦，激光通過切換鏡進(jìn)行切換。通過衰減片對能量進(jìn)行衰減，通過光闌控制光束的束直徑。
氙燈和單色儀通過光纖接口接入耦合光路模組，經(jīng)過深紫外透鏡組準(zhǔn)直后，到達(dá)物鏡后，聚焦到樣品表面，光斑直徑約200微米。
電學(xué)部分設(shè)計概述
穩(wěn)態(tài)光源測試模式：
穩(wěn)態(tài)光源（等離子體光源+單色儀）照射下，標(biāo)準(zhǔn)探測器和待測樣品直接接偏壓，通過雙通道源表同時獲取光電流隨時間的變化。
脈沖光源測試模式:
脈沖電學(xué)測試:脈沖激光照射下,標(biāo)準(zhǔn)探測器和待測樣品接跨導(dǎo)放大器,將光電流轉(zhuǎn)化為電壓,通過多通道示波器同時獲取標(biāo)探和待測樣品的電壓隨時間的變化。此時偏壓固定,由放大器提供偏壓。
系統(tǒng)規(guī)格
革命性的插槽式并聯(lián)光路設(shè)計
優(yōu)勢:
強(qiáng)大的光路穩(wěn)定性：取消了傳統(tǒng)意義上的顯微鏡周邊冗余，更加貼合光路穩(wěn)定性要求比較高的未來應(yīng)用場景
無限拓展的可能性：顯微鏡光路，熒光，RAMAN，振鏡掃描光電流光路，不同波長的熒光與RAMAN測試，依次并聯(lián)，無限拓展
定量測試的高準(zhǔn)確度：激光功率校準(zhǔn)集成在顯微鏡模組中，通過測量激光采樣鏡獲取的少量激光光強(qiáng)，可作為激光功率的實時校準(zhǔn)和參考，并通過集成在熒光和拉曼模組中的連續(xù)衰減片調(diào)節(jié)光強(qiáng)。
更多的功能實現(xiàn)：熒光光強(qiáng)對于激發(fā)功率密度非常敏感，要準(zhǔn)確的比較不同樣品的熒光光強(qiáng)，需要應(yīng)用翹曲度模組通過自動對焦，固定激發(fā)光斑的大小，同時通過激光功率校準(zhǔn)來固定激發(fā)光強(qiáng)，最終保證了顯微共聚焦熒光光強(qiáng)的穩(wěn)定性和可比較性。
智能化軟件平臺和模塊化設(shè)計
· 統(tǒng)一的軟件平臺和模塊化設(shè)計
· 良好的適配不同的硬件設(shè)備：平移臺、顯微成像裝置、光譜采集設(shè)備、自動聚焦裝置等
· 成熟的功能化模塊：晶圓定位、光譜采集、掃描成像Mapping、3D層析，Raman Mapping，F(xiàn)LIM，PL Mapping，光電流Mapping等。
· 智能化的數(shù)據(jù)處理模組：與數(shù)據(jù)擬合、機(jī)器學(xué)習(xí)、人工智能等結(jié)合的在線或離線數(shù)據(jù)處理模組，將光譜解析為成分、元素的分布等，為客戶提供直觀的結(jié)果?？筛鶕?jù)客
· 戶需求定制光譜數(shù)據(jù)解析的流程和模組
· 可根據(jù)客戶需求進(jìn)行定制化的界面設(shè)計和定制化的RECIPE流程設(shè)計，實現(xiàn)復(fù)雜的采集和數(shù)據(jù)處理功能。
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