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Free6D.3-2.150系列

壓電六軸并聯(lián)系統(tǒng)Free6D.3-2.150系列

六軸壓電并聯(lián)系統(tǒng)
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產(chǎn)品概述

壓電六軸并聯(lián)系統(tǒng)Free6D.3-2.150系列選型表
 

型號(hào)

Free6D.3-2.150

外形尺寸（mm）

Ø150×112 mm

主體材料

不銹鋼/鋁合金

運(yùn)動(dòng)參數(shù)

行程 X, Y, Z

± 9 mm, ± 9 mm, ± 5 mm

行程 ΘX, ΘY , ΘZ

± 10 °, ± 10 °, ± 20 °

單向重復(fù)定位精度 X, Y, Z

± 0.3 um, ± 0.3 um, ± 0.1 um

單向重復(fù)定位精度 ΘX，ΘY，ΘZ

± 5 urad, ± 5 urad, ± 5 urad

最小位移 X, Y, Z

0.1 um, 0.1 um, 0.1 um

最小位移 ΘX，ΘY，ΘZ

5 urad, 5 urad, 5 urad

位置傳感參數(shù)

集成傳感器

光學(xué)編碼器

位置傳感分辨率

- 光柵尺傳感（.O ），10 nm(默認(rèn)); 4.88nm, 2.44nm, 1nm 可選

控制器信息

工作電壓

220 V

控制器通道

6通道輸出控制

通訊接口

USB，232，網(wǎng)口通訊

控制軟件

提供PC端使用軟件，支持labview，串口命令集控制
 
壓電六軸并聯(lián)系統(tǒng)Free6D.3-2.150系列尺寸圖