產(chǎn)品簡介

微納光電成像測(cè)試系統(tǒng)是一種利用顯微成像手段，通過不同波長激光進(jìn)行探測(cè)，分析表征光電子器件的短路電流分布，表面缺陷， 反射率等參數(shù)。并通過掃描獲得的圖像，分析各種參數(shù)的平面均勻性，為光電器件的結(jié)構(gòu)優(yōu)化提供參考。

卓立漢光經(jīng)過多年研究，推出基于振鏡顯微系統(tǒng)的LBIC 系統(tǒng)。本設(shè)備有著快速掃描，高分辨等特點(diǎn)，可以廣泛應(yīng)用于：單晶硅、多晶硅、非晶硅、有機(jī)半導(dǎo)體、染料敏化等各類太陽能電池研究，也可以應(yīng)用于GaN 等光電器件的研究。對(duì)光電探測(cè)器的量子效率， 器件的電阻分布特征，研究太陽能電池光生電流的不均勻性，研究器件吸收和電荷生成的微區(qū)特性，以及光電材料界面，半導(dǎo)體結(jié)區(qū)的品質(zhì)分布等提供可靠的分析數(shù)據(jù)。

系統(tǒng)結(jié)構(gòu)描述：

激光通過掃描透鏡，掃描振鏡，成像透鏡，由顯微鏡聚焦到樣品表面，激光激發(fā)樣品產(chǎn)生光電流，光電流信號(hào)通過探針引出至電流源表，再通過軟件在軟件中讀出。掃描時(shí)，振鏡是通過電壓控制器控制光束的偏轉(zhuǎn)角度，激光的光斑在樣品的XY 方向上掃描移動(dòng)， 軟件記錄每一個(gè)激光聚焦光斑的位置和其對(duì)應(yīng)的電流值，在軟件上同步描繪出光電流成像圖，顯示了樣品的電流分布。由于采用振鏡結(jié)構(gòu)，光斑移動(dòng)在物鏡處是不同位置入射，而不是不同角度入射，因此可以保證入射到樣品不同位置的光斑模式不會(huì)變化

整個(gè)系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)如下圖所示：包含

功能：

閾值處理；局部放大，等高線顯示，三維顯示，單點(diǎn)測(cè)試數(shù)據(jù)顯示，導(dǎo)出txt，excel 數(shù)據(jù)等。

軟件功能說明：

軟件測(cè)試界面如下圖：

各部分功能介紹如下：

數(shù)據(jù)分析軟件界面如下圖所示：

該分析軟件有強(qiáng)大的數(shù)據(jù)處理功能，如下圖所示快捷按鈕。

功能包括：調(diào)節(jié)適配數(shù)值區(qū)域；放大選中區(qū)域；回到全部區(qū)域；等高線顯示；顯示一條直線上的信號(hào)分布，三維顯示，導(dǎo)出數(shù)據(jù)等。數(shù)據(jù)分析功能很多，很強(qiáng)大，幾乎包含常見的數(shù)據(jù)分析方法。

測(cè)試案例：