特點(diǎn)：
• 超安靜運(yùn)動，20HZ驅(qū)動頻率
• 閉環(huán)控制·位置傳感支持電阻型(R和光學(xué)型(.0)
• 高精度空間傳感分辨率(.0)10nm(默認(rèn))；4.88nm2.44nm,lnm可選
• 經(jīng)濟(jì)型··空間傳感分辨率(R)100-200nm
• 最小步伐約10 nm
• 可提供多軸堆疊安裝轉(zhuǎn)接件
• 控制器兼容旋轉(zhuǎn)臺，搖擺臺
• 高真空 (HV) 和超高真空支持無磁 (NM) 、(UHV) 選件
壓電納米角位移臺命名規(guī)則
壓電納米角位移臺選型表
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型號
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GS65-77.Lab.O
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GS65-97.Lab.O
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底面尺寸×高度（mm）
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70×70×20
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主體材質(zhì)
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默認(rèn)不銹鋼（可選鋁合金、純鈦版本
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自重
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650g
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650g
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運(yùn)動行程（°）
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+/- 10
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搖擺半徑（mm）
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77
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97
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最大速度（°/s）
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– 3
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最小步伐
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1 urad (0.000057°)
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重復(fù)定位精度
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驅(qū)動頻率
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Max. 20 kHz （超安靜運(yùn)動）
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最大負(fù)載（g）
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1000
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自鎖力（N*mm）
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50
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驅(qū)動力矩（N*mm）
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20
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位置傳感類型
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- 光柵尺傳感（.O ）
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位置傳感量程
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20 °
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位置傳感分辨率
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0.12urad(6.7m°, 默認(rèn)); 0.06urad,
0.03urad可選
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0.1urad(5.4m°, 默認(rèn)); 0.05urad,
0.02urad可選
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尺寸圖
13810146393
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