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Carrier.Lxxxx.XY

中空壓電載物臺(tái)

特點(diǎn)：
• 最小步伐尺寸約 20nm
• 最高速度10 mm/s
• 閉環(huán)傳感，空間分辨率1nm /2.44nm /4.88nm/10nm
• 支持無(wú)磁(NM) 、高真空(.HV) 和超高真空(.UHV) 選件
• 主體鋁合金(硬質(zhì)氧化發(fā)黑)
 
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產(chǎn)品概述

中空壓電載物臺(tái)特點(diǎn)：
• 最小步伐尺寸約 20nm
• 最高速度10 mm/s
• 閉環(huán)傳感，空間分辨率1nm /2.44nm /4.88nm/10nm
• 支持無(wú)磁(NM) 、高真空(.HV) 和超高真空(.UHV) 選件
• 主體鋁合金(硬質(zhì)氧化發(fā)黑)
 
命名規(guī)則

中空壓電載物臺(tái)選型表
 

型號(hào)

Carrier.L7550.XY

Carrier.L1010.XY

Carrier.R200

外形尺寸（mm）

250×200×30

250×250×40

200×200×24

主體材料

 

鋁合金

 

自重（g）

2333

4000

2000

運(yùn)動(dòng)行程（mm）

75×50

100×100

連續(xù)運(yùn)動(dòng)

最小安裝尺寸（mm）

325*250*30

350*250*40mm

200*200*24

通孔尺寸（mm）

85*65

120*120

60

最大速度（mm/s）

– 15

– 10

/

最小步伐（nm）

～ 20

～ 20

/

重復(fù)定位精度

驅(qū)動(dòng)頻率

 

 

Max. 20 kHz

最大負(fù)載（kg）

2

4

1

全行程俯仰/偏擺

 

 

/

位置傳感類(lèi)型

 

 

/

位置傳感量程（mm）

75×50

100×100

300°

位置傳感分辨率

- 光柵尺傳感（.O ），10 nm(默認(rèn)); 4.88nm, 2.44nm, 1nm 可選

/

推薦使用溫度

 

15-40℃

 
 
尺寸圖