Carrier.OBHLxx.C.HV系列
型號(hào) |
Carrier.OB.050.C |
Carrier.OB100.C |
Carrier.OBHL100.C |
外形尺寸 |
詳見各型號(hào)尺寸圖 |
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材質(zhì) |
不銹鋼/鋁合金 |
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自重(g) |
270 |
270 |
500 |
運(yùn)動(dòng)方向 |
Z 軸 |
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行程(um) |
50 |
100 |
100 |
線性度 |
0.02% |
0.03% |
0.02% |
內(nèi)置傳感器 |
電容式傳感 |
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傳感器噪聲(nm) |
1 |
||
Z方向分辨率,開環(huán)(nm) |
0.2 |
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穩(wěn)定時(shí)間 (90%位置到達(dá))(ms) |
10 |
15 |
10 |
共振頻率(無負(fù)載)(Hz) |
600 |
500 |
900 |
共振頻率(150 g 負(fù)載)(Hz) |
300 |
250 |
500 |
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