LSxxX.lab.O/R系列壓電納米線性位移臺

超安靜運(yùn)動,20HZ驅(qū)動頻率閉環(huán)控制·位置傳感支持電阻型(R和光學(xué)型(.0)

產(chǎn)品咨詢

產(chǎn)品概述

LSxxX.lab.O/R系列壓電納米線性位移臺特點：

• 超安靜運(yùn)動，20HZ驅(qū)動頻率

• 閉環(huán)控制·位置傳感支持電阻型(R和光學(xué)型(.0)

• 高精度空間傳感分辨率(.0)10nm(默認(rèn))；4.88nm2.44nm,lnm可選

• 經(jīng)濟(jì)型空間傳感分辨率(R)100-200nm

• 最小步伐約10 nm

• 可提供多軸堆疊安裝轉(zhuǎn)接件

• 控制器兼容旋轉(zhuǎn)臺，搖擺臺

•高真空 (HV) 和超高真空支持無磁 (NM) 、(UHV) 選件

命名規(guī)則

LSxxX.lab.O/R系列壓電納米線性位移臺選型表

型號	LS25x.Lab.R	LS35x.Lab.o/R	LS65x.Lab.O/R
底面尺寸×高度（mm）	25×25×10	35×35×12	65×65×13
主體材質(zhì)	默認(rèn)不銹鋼（可選鋁合金、純鈦版）
自重（g）	40g	102g（.R）200g(.O)	200g(.O)
運(yùn)動行程（mm）	8	20	30
最大速度（mm/s）	-20
最小步伐（nm）	~15	~10	~10
重復(fù)定位精度（nm）	/	300	200
驅(qū)動頻率	Max. 20 kHz （超安靜運(yùn)動）
最大水平推力（N）	2
保持力	5	5	5
全行程俯仰/偏擺	0.2 mrad / 0.3 mrad（0.012°/0.017°）
水平負(fù)載	500g	500g	2000g
豎直負(fù)載	200g	200g	150g
位置傳感類型	- 電阻型傳感（ .R ）	-電阻型傳感（ .R ） -光柵尺傳感（.O ）	-電阻型傳感（ .R ） -光柵尺傳感（.O ）
位置傳感量程（mm）	8	20	30
位置傳感分辨率	- 150nm	電阻型傳感（ .R ）， 100-200 nm - 光柵尺傳感（.O ）， 10 nm(默認(rèn)); 4.88nm, 2.44nm, 1nm 可選	- 電阻型傳感（ .R ），100-200 nm - 光柵尺傳感（.O ），10 nm(默認(rèn)); 4.88nm, 2.44nm, 1nm 可選

尺寸圖

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