SH30.xyz.C系列
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型號 |
SH30.xyz.0 /.C |
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運動方向 |
X ,Y ,Z 方向 |
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底面尺寸×高度（mm） |
160×160×35 |
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主體材料 |
不銹鋼 |
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自重（g） |
4000 |
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運動行程（um） |
30×30×15 |
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運動分辨率（nm） |
0.1(開環(huán)) 0.3(閉環(huán)) |
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運動可重復精度（閉環(huán)）（nm） |
<3 |
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偏擺角度（urad） |
20/ 20 / 50 |
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共振頻率 (空載)（Hz） |
50 |
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最大負載（kg） |
10 |
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閉環(huán)傳感器（閉環(huán)版本） |
電容式 |
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驅(qū)動電壓（V） |
150 |
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推薦使用溫度 |
-20 ~ 80 °C |
13810146393
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