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MAPS-LBIC系列多功能光電流掃描成像系統(tǒng)

光電流掃描成像：通過2D位移臺(tái)逐點(diǎn)掃描方式，對(duì)樣品進(jìn)行光電流強(qiáng)度分布成像。此功能僅需將系統(tǒng)標(biāo)配的磁吸樣品臺(tái)替換為電學(xué)樣品臺(tái)，再配合相應(yīng)的源表，鎖相放大器，前置放大器等外置設(shè)備即可實(shí)現(xiàn)。此外，配合Waynelabs3 的電動(dòng)化組件，可支持自定義更多功能，如本頁的掩模版掃描成像功能
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產(chǎn)品概述
多功能光電流掃描成像系統(tǒng)
 
Waynelabs3 微區(qū)架構(gòu)兼容各類樣平臺(tái)，與電學(xué)測量系統(tǒng)整可開展光電流掃描成像測試。光電流響應(yīng)的測試流程為：激發(fā)光經(jīng)斬波后（或直接通過外部TTL調(diào)制），再經(jīng)分束鏡物鏡引入到樣品上；通過源表外加偏壓使樣品上每一點(diǎn)產(chǎn)生光電流信號(hào)，將其接入鎖相放大器采集信號(hào)；
光電流掃描成像：通過2D位移臺(tái)逐點(diǎn)掃描方式，對(duì)樣品進(jìn)行光電流強(qiáng)度分布成像。此功能僅需將系統(tǒng)標(biāo)配的磁吸樣品臺(tái)替換為電學(xué)樣品臺(tái)，再配合相應(yīng)的源表，鎖相放大器，前置放大器等外置設(shè)備即可實(shí)現(xiàn)。此外，配合Waynelabs3 的電動(dòng)化組件，可支持自定義更多功能，如本頁的掩模版掃描成像功能。
 
系統(tǒng)原理示意圖
*此圖僅作為原理示意，以實(shí)際為準(zhǔn)
基本功能
 
· 單點(diǎn)激發(fā)測光電流響應(yīng)及Mapping；
· 電動(dòng)變功率及變偏振的光電流測量；
· 配備常溫及低溫、氣氛電學(xué)樣品臺(tái)；（可選）
· 可增配激發(fā)光調(diào)制模塊（激光投影/寬場激發(fā)/矢量光入射等）
 
多功能光電流掃描成像系統(tǒng)應(yīng)用場景
主要用于表征光電材料及器件的光電流響應(yīng)及強(qiáng)度分布
· 光電探測器的量子效率；
·  器件的電阻分布特征；
· 太陽能電池光生電流的分布特性；
· 器件光吸收及光生電荷的分布特性；
· 半導(dǎo)體結(jié)區(qū)/界面的電荷分布等。
 
典型數(shù)據(jù)圖
多功能光電流掃描成像系統(tǒng)典型參數(shù)配置
 
測試光源：寬譜光：400 - 1100 nm（標(biāo)配）；400 - 2000 nm（可選） 激光：375 - 1064 nm （選配）
空間分辨率： ＜ 1 mm
電動(dòng)位移行程：50 mm × 50 mm × 40 mm
掃描精度： ＜ 1 mm，步進(jìn)最小 0.04 mm
偏振控制： 電動(dòng)（可選）
光路切換方式：電動(dòng)，軟件控制
物鏡組： 5X，10X，20X，50X，100X可見光物鏡；其它物鏡可定制
照明光源： 高顯色LED面光源
信號(hào)采集： 16路插入式芯片及配套插座；16路單獨(dú)可控接地盒；前置放大探頭，鎖相放大器
軟件功能：移動(dòng)視場，切換物鏡，對(duì)焦，框選掃描區(qū)域均可用鼠標(biāo)直接在圖像顯示窗口操作；電動(dòng)功率調(diào)整；自動(dòng)化光路模式切換；自動(dòng)化Mapping；自動(dòng)化偏振Mapping；實(shí)時(shí)處理與顯示數(shù)據(jù)