LSxxZ.lab.O/R系列壓電納米線性升降臺(tái)特點(diǎn)：
• 超安靜運(yùn)動(dòng)，20HZ驅(qū)動(dòng)頻率
• 閉環(huán)控制·位置傳感支持電阻型(R和光學(xué)型(.0)
• 高精度空間傳感分辨率(.0)10nm(默認(rèn));4.88nm2.44nm,lnm可選
• 經(jīng)濟(jì)型··空間傳感分辨(R)100-200nm
• 最小步伐約10 nm
• 可提供多軸堆疊安裝轉(zhuǎn)接件
• 控制器兼容旋轉(zhuǎn)臺(tái)，搖擺臺(tái)
• 高真空 (HV) 和超高真空支持無(wú)磁 (NM) 、(UHV) 選件
命名規(guī)則
LSxxZ.lab.O/R系列壓電納米線性升降臺(tái)選型表
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型號(hào)
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LS35z.Lab .O / .R
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LS65z.Lab.O / .R.
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底面尺寸×高度（mm）
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35×35×33
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65×65×42.5
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主體材質(zhì)
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默認(rèn)不銹鋼（可選鋁合金、純鈦版）
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自重（g）
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102g（.R）200g(.O)
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300g(O)
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運(yùn)動(dòng)行程（mm）
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10
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最大速度（mm/s）
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-10
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最小步伐（nm）
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~10
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重復(fù)定位精度
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驅(qū)動(dòng)頻率
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Max. 20 kHz （超安靜運(yùn)動(dòng)）
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最大負(fù)載（g）
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500
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全行程俯仰/偏擺
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0.3 mrad / 0.2 mrad（0.017°/0.012°）
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位置傳感類(lèi)型
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-電阻型傳感（ .R ）
-光柵尺傳感（.O ）
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位置傳感量程（mm）
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10
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位置傳感分辨率
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- 電阻型傳感（ .R ），100-200 nm
- 光柵尺傳感（.O ），10 nm(默認(rèn)); 4.88nm, 2.44nm, 1nm 可選
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尺寸圖
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