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基于金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積的ε-Ga2O3薄膜的非對稱肖特基結(jié)構(gòu)超高性能日盲光電探測器

Ga2O3有著4.7-5.2eV的寬禁帶,本質(zhì)上適合日盲光電探測器。Ga2O3有五種同構(gòu)異形體,單斜β-Ga2O3薄膜因其高溫度穩(wěn)定性已經(jīng)有了大量的研究。其他相,特別是α-、γ-、δ-和ε-Ga2O3很少被研究。比來,由于ε-Ga2O3其有高度對稱的六面體結(jié)構(gòu),有可能將氮化物和ε-Ga2O3結(jié)合起來,形成致力于光電應(yīng)用的III-氧化物/III-氮化物異質(zhì)結(jié)器件結(jié)構(gòu),因此而廣受科研工作者關(guān)注。

在本文中,中國科學(xué)技術(shù)大學(xué)龍世兵課題組通過氯化物輔助MOCVD,成功地生長出了在c-平面藍(lán)寶石襯底上的高質(zhì)量單晶ε-Ga2O3薄膜?;诋愘|(zhì)ε-Ga2O3薄膜上的,帶有非對稱肖特基電極的日盲光電探測器被構(gòu)建。此器件表現(xiàn)出高性能日盲特性,5.7×104的高光-暗電流比(PDCR),4.2×1014Jones的高探測率和4.1×104%的外量子效率。同時(shí)實(shí)現(xiàn)了84 A/W的響應(yīng)率,100 ms的快響應(yīng)速度。

1.3.1 ε-Ga2O3日盲光電探測器結(jié)構(gòu)


 

圖1. 制備的ε-Ga2O3 SBPD的橫截面示意圖。ε-Ga2O3 外延膜的 (b)X射線衍射圖和(c) 透過譜。
 

圖1(a)展示了制備的ε-Ga2O3 SBPD的截面圖。ε-Ga2O3異質(zhì)外延層生長于藍(lán)寶石上,通過MOCVD,HCl誘導(dǎo)的生長方式生長。掃描電子顯微鏡圖像顯示MOCVD生長的ε-Ga2O3薄膜的表面形態(tài)平整,圖1(b)中ε-Ga2O3外延薄膜的X射線衍射(XRD)圖像展示該薄膜為高晶體質(zhì)量的純相ε-Ga2O3。圖1(c)為ε-Ga2O3薄膜UV-可見光學(xué)透射光譜。在低于280nm時(shí),透過急劇下降,表明在此后波長有著很強(qiáng)的吸收能力,證實(shí)了該薄膜的日盲特性。
 

1.3.2 ε-Ga2O3日盲光電探測器性能

圖2. 在暗環(huán)境和光照下的線性和半對數(shù)坐標(biāo)下的I-V曲線。(b)在暗環(huán)境和光照條件下的半對數(shù)坐標(biāo)的I-V曲線。 (c)光電流和光/暗電流比和(d)響應(yīng)度和探測率隨光強(qiáng)的變化關(guān)系。
 

2(a)為ε-Ga2O3 SBPD在黑暗和在254 nm,強(qiáng)度為87 μW/cm²光照下半對數(shù)和線性I-V曲線。暗電流在電壓-6V到+6V范圍內(nèi)保持在很低水平,該器件表現(xiàn)出很好的肖特基特性。利用傳輸線模型計(jì)算得Ti/Au接觸的接觸電阻率為4.32×10² Ω cm²。此外,ε-Ga2O3薄膜方塊電阻為1.2×1012Ω/sq。因此,低開態(tài)電流可歸因于高平面電阻和接觸電阻。利用對J-V圖線性擬合得φB為0.88 eV。

通常來說,光電響應(yīng)特性依賴于光強(qiáng)。因此,在ε-Ga2O3 SBPD上研究了I-V曲線和光強(qiáng)的關(guān)系,如圖2(b)所示??梢钥吹焦怆娏麟S著光強(qiáng)而增加。

我們計(jì)算了一些關(guān)鍵的品質(zhì)因數(shù)來評估制備的ε-Ga2O3 SBPD的性能,例如響應(yīng)度(R),探測度(D*)和外量子率(EQE)。該器件在不同光照強(qiáng)度下的關(guān)鍵參數(shù)在V=6V時(shí)被提取,正如圖2(c)和(d)所示。正如期待的那樣,光電流隨著光照強(qiáng)度而增大,因?yàn)樵诟吖夤β使庹障略?i>ε-Ga2O3溝道中有更多的光子被吸收以及更多的光激發(fā)載流子產(chǎn)生。因此,PCDR、RD*也會隨著光照強(qiáng)度而增大,表明不會有ε-Ga2O3 SBPD的光或熱引導(dǎo)退化。

 

1.3.3 不同光強(qiáng)及柵壓對ε-Ga2O3日盲光電探測器性能的影響

圖3. 該器件在不同偏壓條件下的時(shí)間相應(yīng)特性。(b)歸一化下降沿過程。(c)該ε-Ga2O3 SBPD的反向I-V特性曲線。(d)該器件得到的響應(yīng)度與衰減時(shí)間的關(guān)系
 

3(a)為在不同電壓下,光強(qiáng)為87μW/cm²的時(shí)光電流隨時(shí)間變化的響應(yīng)特性。光電流隨著偏壓而增大,因?yàn)楣馍d流子被電場加速,因此更多的光生載流子在更高偏壓下被收集。為了獲得精確的響應(yīng)速度,放大的歸一化時(shí)變光電流曲線畫在圖3(b)中,以展示下降過程。下降時(shí)間被定義為從90%下降至10%的時(shí)間,估算為100ms,與已報(bào)導(dǎo)的Ga2O3 探測器相比,這是一個(gè)很快的速度??煜陆禃r(shí)間可歸功于在通過MOCVD生長的ε-Ga2O3薄膜中,通過氫/氯對深能級陷阱的鈍化,在此過程中HCl作為催化劑。

圖3(c)為黑暗環(huán)境下制備的ε-Ga2O3 SBPD的反向I-V特性曲線,高擊穿電壓使得ε-Ga2O3薄膜有可能被用來制造高增益的光電二極管。在此工作中,在ε-Ga2O3 SBPD上實(shí)現(xiàn)了84A/W的響應(yīng)度,和100ms的快響應(yīng)速度。如圖3(d)所示。
 

中國科學(xué)技術(shù)大學(xué)龍世兵教授課題組簡介
 

課題組主要從事寬禁帶半導(dǎo)體氧化鎵材料的生長,器件開發(fā),包括電力電子器件以及紫外探測器件,功率器件模組以及成像系統(tǒng)的開發(fā)。主要期望通過優(yōu)化器件結(jié)構(gòu)的設(shè)計(jì),以及完善工藝開發(fā),制備更高性能的功率器件和深紫外探測器件,實(shí)現(xiàn)更高的擊穿電壓,更低的導(dǎo)通電阻,更高的響應(yīng)度和更快的響應(yīng)速度等。截止目前,龍世兵教授主持國家自然科學(xué)基金、科技部(863、973、重大專項(xiàng)、重點(diǎn)研發(fā)計(jì)劃)、中科院等資助科研項(xiàng)目15項(xiàng)。在Adv. Mater., ACS Photonics,IEEE Electron Device Lett.等國際學(xué)術(shù)期刊和會議上發(fā)表論文100余篇,SCI他引6300余次,H指數(shù)44。獲得/申請 100余項(xiàng),其中9項(xiàng)轉(zhuǎn)移給國內(nèi)大的集成電路制造企業(yè)中芯國際,74項(xiàng)授權(quán)/受理發(fā)明 許可給武漢新芯。

文章信息
這一成果以“High-Performance Metal-Organic Chemical Vapor Deposition Grown ε-Ga2O3 Solar-Blind Photodetector With Asymmetric Schottky Electrodes”為題發(fā)表在IEEE Electron Device Letters期刊上。中國科學(xué)技術(shù)大學(xué)覃愿為作者,龍世兵教授為通訊作者。

文章信息:IEEE Electron Device Letters, 2019, 40(9), 1475-1478上

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