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SPM600系列

SPM600系列半導(dǎo)體參數(shù)分析儀

SPM600 系列半導(dǎo)體參數(shù)分析儀是一款專用于半導(dǎo)體材料光電測(cè)試的系統(tǒng)。其功能全面,提供多種重要參數(shù)測(cè)試。系統(tǒng)集成高精度光譜掃描,光電流掃描以及光響應(yīng)速率測(cè)試。40μm 探測(cè)光斑,實(shí)現(xiàn)百微米級(jí)探測(cè)器的絕對(duì)光譜響應(yīng)度測(cè)量。超高穩(wěn)定性光源支持長時(shí)間的連續(xù)測(cè)試,豐富的光源選擇以及多層光學(xué)光路設(shè)計(jì)可擴(kuò)展多路光源,例如超連續(xù)白光激光器,皮秒脈沖激光器,半導(dǎo)體激光器,鹵素?zé)?,氙燈等,滿足不同探測(cè)器測(cè)試功能的要求。是半導(dǎo)體微納器件研究的優(yōu)選。
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產(chǎn)品概述

SPM600 系列半導(dǎo)體參數(shù)分析儀是一款專用于半導(dǎo)體材料光電測(cè)試的系統(tǒng)。其功能全面,提供多種重要參數(shù)測(cè)試。系統(tǒng)集成高精度光譜掃描,光電流掃描以及光響應(yīng)速率測(cè)試。40μm 探測(cè)光斑,實(shí)現(xiàn)百微米級(jí)探測(cè)器的絕對(duì)光譜響應(yīng)度測(cè)量。超高穩(wěn)定性光源支持長時(shí)間的連續(xù)測(cè)試,豐富的光源選擇以及多層光學(xué)光路設(shè)計(jì)可擴(kuò)展多路光源,例如超連續(xù)白光激光器,皮秒脈沖激光器,半導(dǎo)體激光器,鹵素?zé)?,氙燈等,滿足不同探測(cè)器測(cè)試功能的要求。是半導(dǎo)體微納器件研究的優(yōu)選。

功能:

■ 光譜響應(yīng)度
■ 單色光/變功率IV;
■ 不同輻照度IT曲線(分辨率200ms)
■ 不同偏壓下的IT曲線
■ LBIC,Mapping
■ 線性度測(cè)試
■ 響應(yīng)速率測(cè)試
■ 瞬態(tài)光電壓
■ 瞬態(tài)光電流

光源選項(xiàng)

卓立漢光根據(jù)樣品光譜相應(yīng)范圍選擇適合的光源,如EQ 光源,氙燈光源,氙燈溴鎢燈復(fù)合光源。

EQ光源

特點(diǎn):

■ 光譜范圍寬:190-1700nm寬光譜范圍;
■ 光源本身發(fā)光點(diǎn)小,百微米級(jí)別;
■ 紫外波段亮度高;
■ 壽命長,理論壽命可達(dá)9000h;
■ 體積小,重量輕;散熱好;
氙燈光源

特點(diǎn):

■ 光譜范圍寬:250-1700nm寬光譜范圍;
■ 光源本身發(fā)光點(diǎn)較小,mm級(jí)別;
■ 總功率大,亮度高;適合紫外-可見-近紅外光譜測(cè)試;
■ 燈泡更換簡單,成本低;
氙燈鹵素?zé)綦p光源

特點(diǎn):

■ 光譜范圍:250-2500nm
■ 適合紫外、可見、近紅外,且可見、近紅外波段光譜平滑
■ 燈泡更換簡單,成本低。
 數(shù)采選項(xiàng)
測(cè)試案例