SD15/30.x.C系列亞納米高動(dòng)態(tài)壓電掃描臺(tái)
特點(diǎn):• X方向掃描運(yùn)動(dòng)15um,3 um• 外形尺寸,62 mm x 40 mmx 13.5 mm,80 mm x 40 mmx 13.5 mm• 閉環(huán)分辨率優(yōu)于0.1...
SD15/30.x.C系列亞納米高動(dòng)態(tài)壓電掃描臺(tái)
特點(diǎn):• X方向掃描運(yùn)動(dòng)15um,3 um• 外形尺寸,62 mm x 40 mmx 13.5 mm,80 mm x 40 mmx 13.5 mm• 閉環(huán)分辨率優(yōu)于0.1...