Carrier.S200.xy/xyz.C系列中空壓電掃描臺(tái)產(chǎn)品特?
• 兩維度XY 掃描運(yùn)動(dòng) 200 um × 200 um；
• 閉環(huán)定位精度優(yōu)于 1nm；
• 最?負(fù)載 500 g；
• 針對(duì)光學(xué)顯微鏡-超分辨定制化解決?案；
• ?持?磁( .NM)和?真空( .UHV)選件升級(jí)
Carrier.S200.xy/xyz.C系列中空壓電掃描臺(tái)— 選型表
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型號(hào)
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Carrier200.xy. /xyz.C
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運(yùn)動(dòng)方向
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Carrier.S200.XY : X，Y 方向
Carrier.S200.XYZ : X，Y，Z 方向
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底面尺寸×高度（mm）
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182×150×15
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主體材料
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鋁合金/ 不銹鋼
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自重（g）
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1000
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運(yùn)動(dòng)行程（um）
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Carrier.S200.xy : 200×200
Carrier.S200.xyz : 200×200×200
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中間通孔尺寸（mm）
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77×65
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運(yùn)動(dòng)分辨率（nm）
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2
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運(yùn)動(dòng)可重復(fù)精度（nm）
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士20
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線性誤差
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優(yōu)于 0.1%
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共振頻率（Hz）
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200(X) 150(Y)
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最大負(fù)載（g）
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500
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閉環(huán)傳感器（閉環(huán)版本）
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電容式
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驅(qū)動(dòng)電壓
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Max. 150 V
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推薦使用溫度
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-15 ~ 40 °C
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質(zhì)量（kg）
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1
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Carrier.S200.xy/xyz.C系列中空壓電掃描臺(tái)尺寸圖
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