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S100.z.C /S

亞納米標(biāo)準(zhǔn)壓電掃描臺S100.xx.C/S、S300.X.c/s系列

特點：
• 緊湊設(shè)計、XYZ三軸在極小外形尺寸范圍內(nèi)做到較大行程
• 高負載，負載可至500g
• 閉環(huán)精度優(yōu)于1nm
• 支持超高真空、無磁版本選用
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產(chǎn)品概述

亞納米標(biāo)準(zhǔn)壓電掃描臺特點：
• 緊湊設(shè)計、XYZ三軸在極小外形尺寸范圍內(nèi)做到較大行程
• 高負載，負載可至500g
• 閉環(huán)精度優(yōu)于1nm
• 支持超高真空、無磁版本選用
 
命名規(guī)則
亞納米標(biāo)準(zhǔn)壓電掃描臺選型表

型號

S100.z.C /S

S300.x.C

S100.xy /xyz.C

運動方向

Z方向

X方向

S100.XY : X，Y方向

S100.XYZ : X，Y，Z 方向

底面尺寸×高度（mm）

40×40×18

50×50×17

55×55×40

主體材料

鋁合金 & 不銹鋼

自重（g）

150

200

500

運動行程（um）

100(閉環(huán))

300 (開環(huán))

250 ( 閉環(huán))

S100.xy.C :100×100

S100.xyz.C : 100×100 ×100

運動分辨率（nm）

0.2

1

0.2 (開環(huán)) 1 (閉環(huán))

運動可重復(fù)精度（nm）

± 5

士10

< 10

線性誤差

優(yōu)于0.02%

優(yōu)于0.1%

優(yōu)于 0.1%

共振頻率（Hz）

 

500

 

350

X，Y: 400 ，350

Z: 300

剛性（N/um）

0.5

/

0.5

閉環(huán)傳感器（閉環(huán)版本）

電容式

驅(qū)動電壓

150V

Max.150 V

150V

推薦使用溫度

-20~80°C
 
亞納米標(biāo)準(zhǔn)壓電掃描臺尺寸圖