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Carrier.HS100.z.C
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型號 |
Carrier.HS100.z.C |
Carrier.HS100.xy.C |
Carrier.HS100.zTxTy.C |
Carrier.S100.xyRz.C |
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工作環(huán)境 |
.NM， 絕對無磁版本； .UHV，超高真空版本； |
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運動方向 |
Z方向 |
XY 方向 |
Z，θx & θy |
XY 方向 + Rz旋轉(zhuǎn) |
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底面尺寸×高度（mm） |
150×50×30 |
150×150×30 |
150×150×30 |
150×50×30 |
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主體材料 |
鋁合金 & 不銹鋼 |
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自重（g） |
1000 |
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運動行程 |
100 um |
100 um ×100 um |
100 um，1 mrad & 1mrad |
100 um x 100 um Rz:1 mard |
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中空透孔（mm） |
66×66 |
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線性度誤差（z方向運動） |
0.035% |
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俯仰/偏擺/旋轉(zhuǎn) |
50 urad / 50 urad / 10 urad |
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/ |
/ |
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運動分辨率（閉環(huán)/開環(huán)） |
1 nm / 0.3 nm |
1 nm / 0.2 nm |
1 nm / 0.5 nm |
1 nm / 0.2 nm |
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運動可重復精度 |
± 10 nm |
± 10 nm |
± 10 nm, ± 0.1urad |
± 10 nm |
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剛性（N/ um） |
2.5 |
2 |
2 |
2 |
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共振頻率（空載/2.5 kg） |
500 Hz/ 200 Hz |
420 Hz/ 130 Hz |
480 Hz/ 160 Hz |
420 Hz/ 130 Hz |
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最大負載（kg） |
5 |
3.5 |
2.5 |
3.5 |
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閉環(huán)傳感器（閉環(huán)版本） |
電容式 |
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驅(qū)動電壓 |
Max. 150 V |
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推薦使用溫度 |
-15 ~ 40 °C |
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13810146393
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