北京卓立漢光儀器有限公司將于2022年12月27日在上海舉辦“卓立造，中國(guó)芯”——2023年度新品發(fā)布會(huì)，屆時(shí)將為大家解鎖多款卓立漢光公司自主研發(fā)的新產(chǎn)品和解決方案，包括匠心打造的高精度“精工”系列光機(jī)/激光產(chǎn)品，微觀時(shí)空分辨的飛秒瞬態(tài)吸收成像系統(tǒng)/顯微熒光壽命成像系統(tǒng)/瞬態(tài)光電流與光電壓分析系統(tǒng)，以及針對(duì)半導(dǎo)體行業(yè)和在線檢測(cè)的解決方案。

精彩敬請(qǐng)期待。

發(fā)布會(huì)亮點(diǎn)搶先看

HXP系列六軸并聯(lián)機(jī)器人：揭秘全自由度運(yùn)動(dòng)

高精度、高集成度、高效率的全自由度運(yùn)動(dòng)，適合于空間精密對(duì)位，微小器件加工和裝配，光通信器件調(diào)芯，晶片檢驗(yàn)等應(yīng)用

納米壓電位移臺(tái)：納米至亞納米量級(jí)的高精度運(yùn)動(dòng)控制

可選控制方式為線性，旋轉(zhuǎn)，擺角，掃描。*小單步步長(zhǎng)可達(dá)10nm，使用20kHz超聲頻段驅(qū)動(dòng)，無刺耳運(yùn)動(dòng)噪聲。全系產(chǎn)品均可提供超高真空兼容版本以及完全無磁版本以滿足特殊工況要求。

TBR57電動(dòng)旋轉(zhuǎn)臺(tái)：無懼工況復(fù)雜、高耐用性要求的自動(dòng)化生產(chǎn)線

導(dǎo)向機(jī)構(gòu)采用精密交叉滾柱軸環(huán)，負(fù)載能力強(qiáng)、耐用性好，可水平、豎直、倒置使用；獨(dú)特調(diào)隙機(jī)構(gòu)設(shè)計(jì)，有效較小背隙。高耐磨性、高硬度，內(nèi)置零位傳感器，使用方便。

TPR氣浮隔振& DRN阻尼隔振光學(xué)平臺(tái): 為精密光學(xué)實(shí)驗(yàn)隔振護(hù)航

TPR氣浮隔振平臺(tái)，使用了三線擺+層流阻尼技術(shù)，對(duì)水平和豎直方向的震動(dòng)有非常好的隔振效果，技術(shù)先進(jìn)，性能極佳。5Hz隔振效率高達(dá)85%。

DRN阻尼隔振光學(xué)平臺(tái)，采用 **的雙頻阻尼隔振機(jī)構(gòu)配合低固有頻率材料，使整體固有頻率降低到9Hz以下，為精密光學(xué)實(shí)驗(yàn)提供穩(wěn)定且隔振的實(shí)驗(yàn)平臺(tái)。

焦斑分析儀&采樣衰減模塊: 無需繁瑣光路調(diào)試，助力高精度微納加工

焦斑分析儀采用高機(jī)械精度一體化設(shè)計(jì)，整體光軸偏移控制在0.5°以內(nèi)，可校準(zhǔn)的放大率，三種貼心安裝方式，靈活可拆分的鏡頭和部件，滿足客戶個(gè)性化的需求。

采樣衰減模塊采用較高機(jī)械精度固定部分自由度，幫助客戶提高光路的可重復(fù)性，更加容易調(diào)出兩套比較一致的衰減系統(tǒng)。衰減值切換，模塊組合、系統(tǒng)集成的便利性，可為客戶節(jié)約大量成本、時(shí)間和精力。

Omni-TAM900寬場(chǎng)飛秒瞬態(tài)吸收成像系統(tǒng): 看見載流子的運(yùn)動(dòng)

集成像和動(dòng)力學(xué)于一體，聯(lián)合飛秒泵浦-探測(cè)技術(shù)和顯微技術(shù)，通過自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的干涉放大技術(shù)增強(qiáng)圖像信噪比，可獲得高質(zhì)量的成像效果并大幅度縮短測(cè)試時(shí)間。高靈敏、高通量，可測(cè)量到單個(gè)納米顆粒、單層石墨烯乃至單層分子晶體的瞬態(tài)吸收信號(hào)。

顯微熒光壽命成像系統(tǒng)：基于光譜儀搭建，Mapping更輕松

基于高靈敏度時(shí)間相關(guān)單光子計(jì)數(shù)TCSPC設(shè)計(jì)，聯(lián)合科研級(jí)正置顯微鏡和光譜儀，F(xiàn)L Mapping和Lifetime Mapping 無縫切換。定位精度<1um，多類型激光器可選，內(nèi)部光學(xué)元件可以支持多路激光耦合。

TPV/TPV分析系統(tǒng): 光電器件動(dòng)力學(xué)過程解析利器

光電測(cè)試系統(tǒng)針對(duì)光電器件動(dòng)力學(xué)分析新開發(fā)的功能，可得到光生電流的響應(yīng)時(shí)間，如上升/下降時(shí)間，瞬態(tài)光電流與瞬態(tài)光電壓曲線。從而可以分析光電器件內(nèi)部的動(dòng)力學(xué)過程，如載流子的遷移率、載流子的壽命、載流子的擴(kuò)散長(zhǎng)度等。

SPM 系列半導(dǎo)體測(cè)試方案：專為半導(dǎo)體測(cè)試應(yīng)用而生

SPM300系列半導(dǎo)體參數(shù)測(cè)試儀/SPM600系列半導(dǎo)體參數(shù)分析儀/SPM900系列少子壽命成像測(cè)試儀，面向半導(dǎo)體行業(yè)推出的專用機(jī)型，可進(jìn)行載流子濃度表征、應(yīng)力分析、雜質(zhì) /缺陷分析、載流子壽命分析、光電測(cè)試分析等

在線LIBS+PLIF解決方案：原位實(shí)時(shí)檢測(cè)，快速定性定量

激光誘導(dǎo)擊穿光譜（LIBS）利用脈沖激光激發(fā)出所含物質(zhì)的對(duì)應(yīng)譜線進(jìn)行含量成分分析。其優(yōu)點(diǎn)在于快速，簡(jiǎn)單，不受樣品性狀影響，并且既可以定性分析，又可以進(jìn)一步進(jìn)行定量分析。

片光源激光誘導(dǎo)熒光（PLIF）是利用將激光整形成厚約幾毫米的片光源激發(fā)燃燒場(chǎng)獲得燃燒場(chǎng)中化學(xué)成分的發(fā)射光譜，例如氧原子，氮原子，OH鍵，CH鍵等。通過在線監(jiān)測(cè)軟件，可以很直觀的獲得燃燒場(chǎng)的溫度分布等參數(shù)信息。